氢云链,还给人类一个清洁的“粮食-水-能源”
 找回密码
 立即注册

手机号码,快捷登录

氢云观察:每月消耗1万立方米,EUV光刻技术能否推动氢气需求?

氢云链| 2020-3-10 10:09 阅读 3577 评论 0

近日,氢云链从semiconductors报道了解到,用于半导体的下一代光刻技术的曝光设备,即极紫外光刻(EUV光刻或EUVL)技术,似乎使用了大量的氢气,这是否会推动氢气的需求呢?

对于EUVL曝光设备,它的主要原理为当将CO2或YAG(钇,铝和石榴石)激光照射到溶解的锡(Sn)小滴上以产生超细EUV光时,大量的氢气流将用作锡小滴周围的气氛气体 。据专业人士透露,估计每月将消耗超过100,000m 3的氢气,而氢自由基也可能用于清洁EUVL曝光设备。

LPP方法将使用大量氢气

EUVL曝光设备对于10纳米或更小的精细加工必不可少。它产生的EUV光超过KrF和Ar准分子激光器产生的光。

使用的是LPP(激光产生等离子体)方法,该方法与迄今为止使用的LPP方法不同。使用EUVL曝光设备,锡熔化并形成锡滴,然后用CO2激光照射。然后将生成的EUV光线聚焦。看起来,这并不是一种特别新的技术,随着我们进入10纳米时代,EUVL的实际应用正在不断发展。

在该过程中,使大量的还原气体作为气氛气体流动,以防止锡氧化。最可能的还原气体是氢气。

但是,如果使用大量的锡和氢,由于它们之间的反应,将生成锡烷(SnH 4)。它不易溶于水,并且易燃(当与空气接触时会自燃)。因此,需要一种新的废气处理方法。

此外,可能会将氢气用于清洁EUVL曝光设备。根据相关资料显示,为了使用所产生的氢自由基,将含有氢的气体与已被加热到1000至1600摄氏度之间的钼或钼合金接触。必须去除并防止污染物,但是氢自由基会去除残留在设备中的催化剂和污染物。

台积电将全面引进EUVL

迄今为止,唯一一家全面引入EUVL的公司是台湾半导体制造有限公司(TSMC),这是世界上最大的晶圆代工厂。该公司在11到14纳米超微制造的实际应用方面处于领先地位。作为一家铸造厂,台积电以拥有广泛的半导体制造工艺而闻名,EUVL是其中之一。

semiconductors报道说,有传言说韩国三星电子,美国英特尔,美国美光科技公司和其他公司将在DRAM设备和微处理器的制造工艺中引入EUVL。

不幸的是,日本目前引入EUVL的机会很小。主要是需要超微制造的DRAM。美光科技公司正在研究将EUVL引入其新加坡工厂,但似乎没有计划将其引入其东广岛工厂。

另一方面,人们认为EUVL对于3D-NAND闪存设备不是必需的。Kioxia正在为他们使用液浸ArF准分子激光器。日本暂时不能期待任何新的氢需求。

谁将从供应氢中获利?

但是,日本的一些天然气生产商已经收到台湾,韩国和其他地方有关氢气供应方法和净化设备的询问。氢气不能直接用于该过程中,因此所需的纯度不是很高,但是使用压缩氢气很难每月提供100,000m 3氢气。使用碳氢化合物气体重整或水电解的现场供应更为现实,但即便如此,仍然存在问题。

对于碳氢化合物气体重整,将使用甲烷,丙烷,甲醇或类似的东西作为原料,但是电子制造商对于增加二氧化碳的排放非常不情愿。另一方面,水电解需要大量的电力。更糟糕的是,半导体制造厂已经是大量用电的主要消费者。单独使用EUVL将意味着单位电量消耗的增加。据相关人士透露,林德连华将为台积电提供氢气的现场供应。

即使对于3D-NAND闪存设备,干法蚀刻剂的数量也正在增加,以处理更大数量的层,在韩国,韩国电力公司告诉三星电子和SK Hynix,它们将无法继续使用以与过去相同的方式为半导体制造设备供电。为了应对这种情况,据说两家公司都在研究其电厂的建设。


评论 (0)
文章数 5053 获赞数 6
关注氢能行业、新能源汽车、燃料电池汽车、数字经济等新兴行业

7*24h 快讯

  • 瑞松科技:2020年实现营收7.99亿元 同比增

    瑞松科技发布年报,公司2020年营收7.99亿元,同比增长9.33%;归母净利润4993.99万元,
    2021-04-26
  • 人社部发布一季度100个最缺工职业,“快递

    与2020年第四季度相比,本期“排行”有以下特点:一是招聘需求和求职人数环比均明显上
    2021-04-26
  • 中国半导体协会受邀赴中国汽车工业协会座谈

    4月25日,中国半导体协会(简称“中半协”)副秘书长任振川一行受中国汽车工业协会(简称
    2021-04-26
  • 日本丰田2022年应届生技术岗位招聘半数为IT

    日本丰田汽车公司26日透露,有关日本本土2022年春季本科和研究生院应届毕业生的技术岗
    2021-04-26
  • 中国华电与华为签署战略合作协议 将在能源

    4月26日消息,近期,中国华电集团有限公司(下称中国华电)与华为技术有限公司(下称华为
    2021-04-26
  • 诺安基金:核心资产阶段性反弹 结构性机会

    诺安基金发表市场观点指出,近期以来由业绩驱动的核心资产出现阶段性反弹。后续可持续
    2021-04-26
  • 2021上海合作组织国际投资贸易博览会在青岛

    4月26日,2021上海合作组织国际投资贸易博览会暨上海合作组织地方经贸合作青岛论坛在
    2021-04-26
  • 虎都:附属公司与阿里巴巴子公司订立合作意

    虎都在港交所公告称,洪高科技与阿里巴巴(中国)网络技术有限公司的全资子公司浙江一
    2021-04-26
  • 中原证券:建议短期超配电力设备及新能源、

    中原证券指出,目前国内经济复苏态势较好,政策窗口正在临近,海外疫情急剧扩散,市场
    2021-04-26
  • 外交部副部长谢锋会见美国工商界人士:望积

    4月22日,外交部副部长谢锋会见上海美国商会主席雷蒙、会长季恺文一行,就中美关系以
    2021-04-26
浏览更多